[发明专利]制备碳纳米管薄膜的方法有效
| 申请号： | 201711332304.8 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109913861B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 许海涛 | 申请（专利权）人： | 北京华碳元芯电子科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C20/06 | 分类号： | C23C20/06 |
| 代理公司： | 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人： | 李伟波;韩德凯 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 提供了一种制备碳纳米管薄膜的方法，其包括：使碳纳米管溶液与基底的表面相接触，并使碳纳米管溶液相对于基底的表面沿设定方向移动；以及将基底的表面与碳纳米管溶液分离，并对基底的表面进行干燥处理，以在基底的表面上形成碳纳米管薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 纳米 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.制备碳纳米管薄膜的方法，包括：使碳纳米管溶液与基底的表面相接触，并使所述碳纳米管溶液相对于所述基底的所述表面沿设定方向移动；以及将所述基底的所述表面与所述碳纳米管溶液分离，并对所述基底的所述表面进行干燥处理，以在所述基底的所述表面上形成碳纳米管薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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