[发明专利]一种检测平板清洁度和平整度的装置及方法

摘要

本发明涉及检测技术领域，具体涉及一种检测平板清洁度及平整度的装置以及方法，包括图像采集装置、中继镜头、分光棱镜、物镜、物镜外套、电源装置、暗场照明装置、同轴照明装置以及光源控制装置。本发明提供一种能够检测平板玻璃清洁度以及凹凸点的装置，可以准确区分出平板上缺陷类型，适合生产检测中。

主权项

1.一种检测平板清洁度及平整度的装置，包括图像采集装置(21)、中继镜头(3)、分光棱镜(5)、物镜(7)、物镜外套(12)、暗场照明装置(8)、同轴照明以及光源控制装置(22)和工控机(23)，其特征在于，所述图像采集装置(21)包括相机(1)与成像系统(2)，所述中继镜头(3)与分光棱镜的A端(4)通过套接管连接在一起，所述分光棱镜的B端(6)与物镜(7)通过物镜外套(12)连接在一起，所述暗场照明装置(8)与物镜外套(12)连接在一起，所述暗场照明装置(8)的外环(11)上至少设置有两个安装孔，每个安装孔内都设置有LED灯，所述同轴照明由同轴照明光源(9)和照明镜组(10)组成，通过分光棱镜(5)耦合进成像光路。