[发明专利]一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置与改性方法

摘要

公开一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，包括：充有惰性气体的第一气瓶(101)、充有氟气/惰性气体混合气体的第二气瓶(102)、反应釜(103)、第二阀门(105)、第四阀门(106)、第三阀门(107)、第一阀门(109)、气压计(108)、测温元件(110)、加热装置(113)、真空泵(111)和尾气处理装置(112)。还提供对激励器表面氟化处理的具体操作过程。在密闭容器中放置待处理的等离子体激励器，通过氮气持续、反复充入和抽出反应釜，赶走内部的空气及水分。然后抽真空，向密闭反应釜内充入氟气/惰性气体混合气体，在保持一定的温度、压力环境下，持续反应一段时间，生成具有三层阻挡介质结构(氟化层‑聚酰亚胺层‑氟化层)的等离子体激励器。利用该方法可以较大幅度地提高等离子激励器的放电使用寿命。

主权项

一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，包括：充有惰性气体的第一气瓶(101)、充有氟气/惰性气体混合气体的第二气瓶(102)、反应釜(103)、第二阀门(105)、第四阀门(106)、第三阀门(107)、第一阀门(109)、气压计(108)、测温元件(110)、加热装置(113)、真空泵(111)和尾气处理装置(112)；其中反应釜(103)由中空圆柱形腔体和中空半球形密封盖两部分组成，两者通过密闭连接装置连接；反应釜(103)的圆柱形腔体挨近底部的侧面开有通孔，用于布置加热装置113；反应釜(103)的密封盖上开有可内外联通的四个接口，分别为：气体输送接口，用于连接第一气瓶(101)和第二气瓶(102)；气体抽出接口，用于连接真空泵(111)；气压测量接口，用于连接气压计(108)，气压计(108)用于监控反应釜(103)内气压状态的变化；温度测量接口，用于连接测温元件(110)，测温元件(110)一方面用于监控反应釜内温度的变化，另一方面将该温度变化及时反映输出给加热装置(113)，以便与加热装置(113)协调运作，共同控制反应釜(103)内温度；设置尾气处理装置(112)，用于处理氟化反应后从真空泵(111)中抽出的反应残留气体；激励器(104)放置在反应釜(103)圆柱形腔体底部之上，用做氟化设备的反应对象。