[发明专利]三银LOW-E玻璃真空镀膜生产线

摘要

本发明公开了三银LOW‑E玻璃真空镀膜生产线，依次连接的上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室、质检腔室和卸片区，所述上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室和卸片区内均设有依次连接的传动台，所述质检腔室内设有镀膜质检台和质检系统，所述出口腔室内传动台与镀膜质检台相连。本发明提供的三银LOW‑E玻璃真空镀膜生产线能够实现各类镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强，特别适合大规模工业化生产。

主权项

1.三银LOW‑E玻璃真空镀膜生产线，其特征在于：依次连接的上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室、质检腔室和卸片区，所述上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室和卸片区内均设有依次连接的传动台，所述质检腔室内设有镀膜质检台和质检系统，所述出口腔室内传动台与镀膜质检台相连，所述传动台用于传送镀膜基片，所述镀膜质检台用于检测基片质量，所述溅射腔室设有十六对旋转阴极，五个平面阴极，镀膜产品膜层为Si₃N₄/SnO₂/AZO/Ag/NiCr/SnO₂/Si₃N₄/AZO/Ag/NiCr/SnO₂/Si₃N₄/AZO/Ag/NiCr/Si₃N₄。