[发明专利]一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统及其制备方法在审
| 申请号： | 201711335580.X | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108037641A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张红鑫;许文斌;徐佳;王泰升;蔺春波;王鹤;刘建卓;许家林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统及其制备方法。所述系统包括：固体激光器、光束整形器、光束扩束器、光束分束器、光束调整及能量控制组件、二维位移样品台和计算机；所述固体激光器发出激光光束后，所述激光光束依次经所述光束整形器、光束扩束器和光束分束器后形成六束或六束以上相干光束，再经光束调整及能量控制组件后，在位于所述二维位移样品台的样品表面干涉形成周期性蛾眼结构干涉图样，所述二维位移样品台的移动可通过计算机或人工控制，所述光束分束器用于实现相干光束的分光。本发明极大地降低了系统的复杂程度，提高了整个光刻系统的灵活性，应用环境和领域将更为广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 有效 分布 结构 制备 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统，其特征在于，包括：固体激光器、光束整形器、光束扩束器、光束分束器、六个或六个以上光束调整及能量控制组件、二维位移样品台和计算机；所述固体激光器发出激光光束后，所述激光光束依次经所述光束整形器、光束扩束器和光束分束器后形成六束或六束以上相干光束，再经光束调整及能量控制组件后，在位于所述二维位移样品台的样品表面干涉形成周期性蛾眼结构干涉图样，所述二维位移样品台的移动可通过计算机或人工控制，所述光束分束器用于实现相干光束的分光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711335580.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种3D打印的太阳能无人机
- 下一篇：一种含有气囊的球形盒
