[发明专利]一种玻璃基板减薄蚀刻液在审
| 申请号： | 201711338230.9 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108033686A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张杰;沈励;郑建军;姚仕军;夏伟;吴青肖 | 申请（专利权）人： | 天津美泰真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙) 12219 | 代理人： | 宋西磊 |
| 地址： | 300000 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种玻璃基板减薄蚀刻液，该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：四丁基氟化铵:10‑20％，有机酸:1‑10％，无机酸:1‑10％，金属螯合剂:1‑7％，表面活性剂:1‑5％，聚乙烯醇(PVA):1‑2％，及余量的水。该玻璃基板减薄蚀刻液通过优化配方，由四丁基氟化铵提供F |
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| 搜索关键词： | 一种 玻璃 基板减薄 蚀刻 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板减薄蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：四丁基氟化铵:10-20％，有机酸:1-10％，无机酸:1-10％，金属螯合剂:1-7％，表面活性剂:1-5％，聚乙烯醇(PVA):1-2％，及余量的水。
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