[发明专利]用于合成InP多晶的装料装置及合成InP多晶的方法有效
| 申请号： | 201711338597.0 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108193275B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 白平平;朱刘;陈伟杰;黄成建;邹双福 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B28/02 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于合成InP多晶的装料装置及合成InP多晶的方法。用于合成InP多晶的装料装置包括：装料瓶，具有用于盛放红磷料和铟料的且具有封闭端和开口端的收容腔；盖体，能够盖合在装料瓶的开口端上，且设有与收容腔和装料瓶外部连通的排气孔；保护气体提供瓶，用于盛放不与红磷料反应的保护气体，具有出气口；输送管，一端连通于保护气体提供瓶的出气口，另一端穿过盖体并伸进装料瓶的收容腔，以向装料瓶的收容腔输送保护气体。在根据本发明的用于合成InP多晶的装料装置中，有效地避免了红磷料在含有氧气的空气中因摩擦、碰撞而发生自燃的风险并进一步避免红磷料与空气燃烧形成的氧化物对后续形成的InP多晶造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 装料 合成 保护气体 装料装置 收容腔 红磷 出气口 盖体 盛放 空气燃烧 外部连通 封闭端 开口端 排气孔 输送管 有效地 自燃 氧化物 盖合 伸进 连通 氧气 摩擦 开口 穿过 污染 | ||
【主权项】：
1.一种用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，包括：装料瓶，具有用于盛放红磷料和铟料的且具有封闭端和开口端的收容腔；盖体，能够盖合在装料瓶的开口端上以封闭收容腔且能够从装料瓶的开口端打开，且设有与收容腔和装料瓶外部连通的排气孔；保护气体提供瓶，用于盛放不与红磷料反应的保护气体，具有出气口；输送管，一端连通于保护气体提供瓶的出气口，另一端穿过盖体并伸进装料瓶的收容腔，以向装料瓶的收容腔输送保护气体；减压阀，设置于输送管的一端与保护气体提供瓶的出气口之间，用于控制保护气体提供瓶的出气口输出的保护气体的压力值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导先进材料股份有限公司，未经广东先导先进材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711338597.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
