[发明专利]片状基片智能装载的连续镀膜生产系统在审
| 申请号： | 201711339885.8 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957780A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;孙桂红;黄乐;陈立;凌云;黄夏;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 熊娴;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种片状基片智能装载的连续镀膜生产系统。其至少包括：相连的一传送流水线和一镀膜流水线，传送流水线传送基片，镀膜流水线包括依次连通且首尾相连的进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，片状基片通过进口腔室从传送流水线进入镀膜流水线，通过出口腔室从镀膜流水线移出。 | ||
| 搜索关键词： | 流水线 镀膜 片状基片 传送 出口腔室 进口腔室 连续镀膜 生产系统 装载 出口过渡腔室 出口缓冲腔 进口缓冲腔 镀膜腔室 过渡腔室 首尾相连 依次连通 智能 移出 进口 | ||
【主权项】：
1.片状基片智能装载的连续镀膜生产系统，其特征在于，所述生产系统至少包括：相连的一传送流水线和一镀膜流水线，传送流水线传送基片，镀膜流水线包括依次连通且首尾相连的的进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，片状基片通过进口腔室从传送流水线进入镀膜流水线，通过出口腔室从镀膜流水线移出。
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