[发明专利]集成电路紫外负性光刻胶的生产装置在审
| 申请号： | 201711341192.2 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108241254A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 廖如佴 | 申请（专利权）人： | 成都斯伯里科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/008 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610041 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 集成电路紫外负性光刻胶的生产装置，主要包括：溶胶釜(D101)、环化釜(D102)、冷冻室(L101)、调胶釜(D103)、过滤机(L102)、百级超净间(L103)，其中，环化釜(D102)分别与溶胶釜(D101)、冷冻室(L101)相连接，过滤机(L102)分别与调胶釜(D103)、百级超净间(L103)相连接，其中，溶胶釜(D101)公称容积420‑450L。 | ||
| 搜索关键词： | 溶胶釜 冷冻室 紫外负性光刻胶 生产装置 过滤机 调胶 环化 集成电路 | ||
【主权项】：
1.集成电路紫外负性光刻胶的生产装置，其特征在于，主要包括：溶胶釜(D101)、环化釜(D102)、冷冻室(L101)、调胶釜(D103)、过滤机(L102)、百级超净间(L103)，其中，环化釜(D102)分别与溶胶釜(D101)、冷冻室(L101)相连接，过滤机(L102)分别与调胶釜(D103)、百级超净间(L103)相连接，其中，溶胶釜(D101)公称容积420‑450L。
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