[发明专利]近背向散射光学测量系统在审
| 申请号： | 201711341525.1 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108333147A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 闫亚东;何俊华;王维;韦明智;薛艳博;张敏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量技术领域，具体涉及一种近背向散射光学测量系统，包括取样装置和测量装置，其特征在于：所述取样装置包括球状真空靶室和系统成像镜头，所述球状真空靶室内设置有靶点和散射板；打靶激光入射靶点产生的近背向散射光沿打靶反方向散射后由散射板产生漫反射，漫反射光穿过球状真空靶室上的测量窗口后，再经过系统成像镜头进入测量装置。本发明解决了现有的背向散射诊断技术存在因损伤阈值低而难以满足大规模激光驱动装置近背向散射光测量需求的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 背向散射 光学测量系统 背向散射光 测量装置 取样装置 系统成像 真空靶室 散射板 靶点 光学测量技术 激光驱动装置 测量窗口 测量需求 漫反射光 诊断技术 镜头 反方向 漫反射 散射 入射 激光 损伤 穿过 室内 | ||
【主权项】：
1.一种近背向散射光学测量系统，包括取样装置和测量装置，其特征在于：所述取样装置包括球状真空靶室和系统成像镜头，所述球状真空靶室内设置有靶点和散射板；打靶激光入射靶点产生的近背向散射光沿打靶反方向散射后由散射板产生漫反射，漫反射光穿过球状真空靶室上的测量窗口后，再经过系统成像镜头进入测量装置。
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