[发明专利]弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线

摘要

本发明公开了弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，包括依次连接的上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室、质检腔室和卸片区，所述上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室和卸片区内均设有依次连接的传动台，所述质检腔室内设有镀膜质检台和质检系统，所述出口腔室内传动台与镀膜质检台相连。本发明提供的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线能够实现各类镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强，特别适合大规模工业化生产。

主权项

1.弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：包括依次连接的上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室、质检腔室和卸片区，所述上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室和卸片区内均设有依次连接的传动台，所述质检腔室内设有镀膜质检台和质检系统，所述出口腔室内传动台与镀膜质检台相连，所述溅射腔室包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一平面阴极装置(61)，所述平面阴极装置(61)与一角度调节装置(62)连接，所述角度调节装置(62)通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。