[发明专利]一种高纯氮氧化硅的制备方法在审
申请号: | 201711352598.0 | 申请日: | 2017-12-15 |
公开(公告)号: | CN107986795A | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
发明(设计)人: | 杜宁;季勇升;杨德仁;张亚光;杜英;陆介平 | 申请(专利权)人: | 江苏润弛太阳能材料科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/597 | 分类号: | C04B35/597;C04B35/626 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司32218 | 代理人: | 徐冬涛,李晓峰 |
地址: | 212218 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种高纯氮氧化硅的制备方法,包括以下步骤(1)将硅粉进行加湿处理;(2)在氮氧气氛下,将步骤(1)得到的硅粉原料进行两步高温煅烧,待反应完全后得到氮氧化硅;所述两步高温煅烧的过程为第一步1000‑1300℃,5‑15h,第二步1300‑1500℃,10‑30h。本发明通过在硅粉内部引入水分子,水分子在高温下分解产生的氢气,其不仅可以还原硅表面氧化硅,缩短反应孕育期,而且可以一直抑制二氧化硅的生成,使得反应朝氮氧化硅方向进行,从而得到高纯氮氧化硅;本制备方法工艺简单、性能可控,且生产周期短、极大地降低了生产能耗,适合于大规模的工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 氧化 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种高纯氮氧化硅的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将硅粉进行加湿处理;(2)在氮氧气氛下,将步骤(1)得到的硅粉原料进行两步高温煅烧,待反应完全后得到氮氧化硅;所述两步高温煅烧的过程为:第一步1000‑1300℃,5‑15h,第二步1300‑1500℃,10‑30h。
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