[发明专利]半导体感光器件及其感光表面处理方法

摘要

一种半导体感光器件及其感光表面处理方法，感光表面处理方法包括提供具有感光功能面的半导体感光器件；采用分子气相沉积工艺在感光功能面上形成透光疏水覆盖层。在半导体图像传感器模组的组装过程中，透光疏水覆盖层能避免感光功能面接触水等溶液和颗粒物，以免产生像素成像的缺陷；通过分子气相沉积工艺，透光疏水覆盖层以分子层形式形成于感光功能面，具有厚度小、厚度均一性好的特性，透光疏水覆盖层的透光性相应较好，从而避免对半导体感光器件的光学性能造成不良影响，透光疏水覆盖层的厚度较小还能避免对打线制程造成不良影响；综上，本发明通过分子气相沉积工艺形成透光疏水覆盖层，有利于提高半导体图像传感器模组的加工组装成品率。

主权项

一种半导体感光器件的感光表面处理方法，其特征在于，包括：提供半导体感光器件，所述半导体感光器件具有感光功能面，所述感光功能面下包含有半导体光敏器件，所述半导体感光器件通过所述感光功能面接收感测光辐射信号，通过所述半导体光敏器件将所述光辐射信号转化为电信号；采用分子气相沉积工艺，对所述感光功能面进行自组装成膜处理，在所述感光功能面上形成透光疏水覆盖层。