[发明专利]一种真空镀膜生产线用传动机构在审
申请号: | 201711353380.7 | 申请日: | 2013-12-16 |
公开(公告)号: | CN108265264A | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/56;F16H49/00;F16H57/029 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 411100 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空镀膜生产线用传动机构,其包括一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器,主动组件和从动组件分别设置在磁力耦合器的两侧,主动组件受电驱动,通过磁力耦合器将主动组件的运动传递给从动组件。与现有技术相比,该传动机构采用磁力耦合器连接主动轴和从动轴,主动轴和从动轴之间无直接接触,无机械传动,减少磨损,将动密封转换为静密封,保持各镀膜生产线中各腔室的气密性,有效防止出现漏气现象产生,该传动机构结构简单,能耗减少,节约资源,使用方便,使用寿命延长,安全性提高因此其应用前景十分广阔。 | ||
搜索关键词: | 磁力耦合器 主动组件 从动组件 真空镀膜生产线 从动轴 主动轴 使用寿命延长 镀膜生产线 机械传动 节约资源 漏气现象 能耗减少 运动传递 动密封 静密封 气密性 腔室 受电 磨损 驱动 转换 应用 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜生产线用传动机构,其特征在于,包括:一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器,所述主动组件和所述从动组件分别设置在所述磁力耦合器的两侧,所述主动组件受电驱动,通过所述磁力耦合器使所述主动组件驱动所述从动组件运动。
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