[发明专利]蒸镀坩埚和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201711354594.6 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN107916401B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 孙力 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明蒸镀技术领域，提出一种蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚包括坩埚埚体、坩埚盖体以及隔垫环；坩埚埚体具有环形的第一连接面；坩埚盖体具有环形的第二连接面；隔垫环设置为与第一连接面以及第二连接面相适配的环形，隔垫环位于第一连接面与第二连接面之间。该蒸镀坩埚通过隔垫环将坩埚盖体与坩埚埚体隔离，使坩埚盖体与坩埚埚体之间的温差容易控制。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚埚体，具有环形的第一连接面；坩埚盖体，具有环形的第二连接面；隔垫环，设置为与所述第一连接面以及所述第二连接面相适配的环形，所述隔垫环位于所述第一连接面与所述第二连接面之间。
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