[发明专利]一种抗磨、抗腐蚀以及增透镜片镀膜方法

摘要

本发明涉及一种抗磨、抗腐蚀以及增透镜片镀膜方法，包括以下步骤1）对基片进行清洗、干燥；2）分别对基片的内、外两个表面进行镀膜分别对双面镀第一膜层、分别对双面镀第二膜层、分别对双面镀第三膜层、分别对双面镀第四膜层和分别对双面镀第五膜层。本发明的镜片镀有多个膜层，具有抗磨、抗腐蚀性好、耐磨强度高，增透性强等优点。

主权项

一种抗磨、抗腐蚀以及增透镜片镀膜方法，所述镜片包括由树脂或玻璃成型的基片，所述基片的内、外两个表面从里到外对称依序设有第一膜层、第二膜层、第三膜层、第四膜层和第五膜层；所述第一膜层为五氧化三钛层，厚度为20‑80nm；所述第二膜层为二氧化硅层，厚度为60‑90nm；所述第三膜层为金属层，厚度为25‑40nm；所述第四膜层为防腐蚀膜层，厚度为10‑50nm；所述第五膜层为高硬度层，厚度为20‑40nm；其特征在于：所述基片由树脂成型时，所述镀膜方法具体包括以下步骤：1）对基片进行清洗、干燥；2）分别对基片的内、外两个表面进行镀膜；A、分别对双面镀第一膜层：将真空镀膜舱内的真空度调整至小于或等于5.0×10‑3帕，并控制真空镀膜舱内的温度为50‑70℃，采用电子枪轰击第一膜层的膜材，第一膜层的膜材蒸发后以纳米级分子形式沉积于基片的外表面，同时控制第一膜层蒸镀的速率为2.5Å/S，第一膜层最终形成后的厚度为20‑80nm；其中，所述第一膜层的膜材为五氧化三钛，形成五氧化三钛层；B、分别对双面镀第二膜层：保持真空镀膜舱内的真空度小于或等于5.0×10‑3帕，同时保持真空镀膜舱内的温度为50‑70℃，采用电子枪轰击第二膜层的膜材，第二膜层的膜材蒸发后以纳米级分子形式沉积于上述步骤A中第一膜层的表面，同时控制第二膜层蒸镀的速率为7Å/S，第二膜层最终形成后的厚度为60‑90nm；其中，所述第二膜层的膜材为二氧化硅，形成二氧化硅层；C、分别对双面镀第三膜层：保持真空镀膜舱内的真空度小于或等于5.0×10‑3帕，并控制真空镀膜舱内的温度为50‑70℃，采用电子枪轰击第三膜层的膜材，第三膜层的膜材蒸发后以纳米级分子形式沉积于上述步骤B中第二膜层的表面，同时控制第三膜层蒸镀的速率为1Å/S，第三膜层最终形成后的厚度为25‑40nm；其中，所述第三膜层的膜材为金、银、铂、钕、铜、锌、镍、金合金、银合金、铂合金、钕合金、铜合金、锌合金或镍合金，形成金属层；D、分别对双面镀第四膜层：保持真空镀膜舱内的真空度小于或等于5.0×10‑3帕，同时保持真空镀膜舱内的温度为50‑70℃，采用电子枪轰击第四膜层的膜材，第四膜层的膜材蒸发后以纳米级分子形式沉积于上述步骤C中第三膜层的表面，同时控制第四膜层蒸镀的速率为7Å/S，第四膜层最终形成后的厚度为10‑50nm；其中，所述第四膜层的膜材为PrAlO3 与AlO3Pr 的混合物，形成防腐蚀膜层；E、分别对双面镀第五膜层：将真空镀膜舱内的真空度调整至小于或等于5.0×10‑3帕，并控制真空镀膜舱内的温度为50‑70℃，采用电子枪轰击第五膜层的膜材，第五膜层的膜材蒸发后以纳米级分子形式沉积于上述步骤D中第四膜层的表面，同时控制第五膜层蒸镀的速率为7Å/S，第五膜层最终形成后的厚度为20‑40nm；其中，所述第五膜层的膜材为三氧化二铝、氧化锆、二氧化硅晶体或者一氧化硅晶体，形成高硬度层。