[发明专利]一种可对MEMS微结构进行片外激励的四轴式激振装置

摘要

本发明公开一种可对MEMS微结构进行片外激励的四轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及钢球、弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在顶、底板之间均布有导向轴，下联接块均布有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上；在上、下联接块上分别设有锥形凹槽和球面凹槽，在上、下联接块之间圆周均布有拉簧，使钢球夹在锥形凹槽和球面凹槽之间；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。

主权项

1.一种可对MEMS微结构进行片外激励的四轴式激振装置，包括套筒和底板，在套筒内设有叠堆压电陶瓷、压力传感器以及由上联接块、钢球和下联接块构成的可动底座，在套筒上面设有弹性支撑件和MEMS微结构，其特征是：在套筒上端设有环形顶板，所述MEMS微结构通过弹性支撑件安装在环形顶板上；所述弹性支撑件包括一块基板和四个沿基板外缘圆周均布的支撑臂，每个支撑臂均由依次相互垂直连接的第一连接臂、第二连接臂、第三连接臂和第四连接臂组成，用于减小基板的变形量；在环形顶板和底板之间位于套筒外面圆周均布有导向轴，在套筒壁上沿圆周方向均布有与导向轴一一对应的U型豁口，所述下联接块外缘圆周均布有导向支臂且每个导向支臂分别由对应的U型豁口穿过并套装在导向轴上；在上联接块和下联接块的相对面上分别设有锥形凹槽和球面凹槽，在上联接块底面与下联接块的导向支臂之间圆周均布连接有拉簧，所述钢球的半径小于球面凹槽的曲率半径并在拉簧的作用下夹持在锥形凹槽和球面凹槽之间，通过钢球使上、下联接块之间形成一个调整间隙；以辅助上联接块补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节；所述压力传感器镶装在上联接块顶面的中心孔内，叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在套筒内下部设有支撑板，在支撑板中心沿竖直方向安装有电动丝杠传动机构，电动丝杠传动机构的丝母与下联接块连接，用于带动下联接块上下移动。