[发明专利]一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法

摘要

本发明公开一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，包括取镀膜不良的单晶PERC返工片，放置在装有HCl/H2O2混合液的槽中；将清洗后的返工片置于装有去离子水的清洗槽一中；将清洗过的返工片放置于装有HF/HCl混合液的槽体中；将清洗的返工片放置于装有去离子水的清洗槽二中；将经清洗槽二清洗过的返工片，放置于装有HF/HNO3混合酸液的槽体中；将用HF/HNO3混合酸液清洗后的返工片，放置于装有热水的慢提拉槽中；将处理后的返工片吹干，制绒。本发明的返工方法工艺简单，能大幅度提高生产效率，降低成本；能保持太阳能电池返工片电池效率偏差在0.1％以内，并有效解决外观和EL不良降级比例偏高的问题。

主权项

1.一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤1、取镀膜不良的单晶PERC返工片，放置在装有HCl/H2O2混合液的槽中清洗；步骤2、将清洗后的返工片置于装有去离子水的清洗槽一中；步骤3、将经清洗槽一清洗过的返工片放置于装有HF/HCl混合液的槽体中，去除SiNx/AlOx膜及金属离子；步骤4、将清洗去膜后的返工片放置于装有去离子水的清洗槽二中；步骤5、将经清洗槽二清洗过的返工片，放置于装有HF/HNO3混合酸液的槽体中，利用酸液腐蚀掉原有的金字塔绒面及去除扩散PN结；步骤6、将用HF/HNO3混合酸液清洗后的返工片，放置于装有热水的慢提拉槽中，清洗前面槽体带进的酸液及将返工片表面的水脱掉；步骤7、将处理后的返工片吹干，制绒。