[发明专利]一种可控线性蒸发装置及镀膜方法有效
| 申请号： | 201711359953.7 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108060392B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张撷秋;崔骏;刘壮;杨世航;陈旺寿;李霖 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 封明艳 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可控线性蒸发装置及蒸发镀膜方法，该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率。采用该可控线性蒸发装置进行蒸发镀膜时，可以更准确地控制平均蒸发速率，扩大蒸发速率的调节区间，提高线性蒸发源的瞬间蒸发速率，同时在改变温度工艺时节约原料的消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可控 线性 蒸发 装置 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可控线性蒸发装置，包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，其特征在于，所述坩埚和所述导管相连接构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置阀门。
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