[发明专利]加热盘及应用其的等离子去胶机、等离子去胶方法有效
| 申请号： | 201711362961.7 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109932875B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 张臻贤;武晨燕 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于等离子去胶机的加热盘，加热盘包括用于承载晶圆的盘体，盘体具有靠近晶圆背面的承载表面，承载表面上设置有多个用于向晶圆背面凸起支撑的导热支撑凸点。本发明还提供一种等离子去胶机和等离子去胶方法，可以提高刻蚀光刻胶的均匀度，改善因晶圆受热过快而导致的薄膜氧化问题，提高刻蚀光刻胶的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 应用 等离子 去胶机 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子去胶机的加热盘，其特征在于，所述加热盘包括用于承载晶圆的盘体，所述盘体具有靠近晶圆背面的承载表面，所述承载表面上设置有多个用于向所述晶圆背面凸起支撑的导热支撑凸点。
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