[发明专利]多面超声波清洗机及硅片清洗方法在审
| 申请号： | 201711366233.3 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109926392A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 魏超锋;邓浩;张济蕾;高攀红;刘晓东;李瑛;张超;辛丽 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明的多面超声清洗机，用于超声清洗硅片，具有清洗槽以及设置于清洗槽的多个超声震板，清洗槽用于放置硅片，多个超声震板包括至少一个底超声震板和多个侧超声震板，底超声震板位于硅片的底部，多个侧超声震板相对设置于所述硅片的两侧。本发明的硅片超声清洗方法，包括：提供硅片和如上所述的多面超声清洗机；将硅片放入多面超声清洗机的清洗槽内，使底超声震板位于硅片的底部，多个侧超声震板相对设置于硅片的两侧；利用多个超声震板的超声振动作用清洗硅片。本发明的多面超声清洗机超声功率密度更高、超声场更为均匀，有利于超声清洗硅片。利用本发明的硅片超声清洗方法，使硅片表面清洗效果好、清洗效率高，并且清洗硅片数量多。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 超声震板 多面 超声清洗机 超声清洗 清洗槽 相对设置 清洗 超声波清洗机 超声振动作用 超声功率 硅片表面 硅片清洗 清洗效果 清洗效率 超声场 放入 | ||
【主权项】：
1.多面超声清洗机，用于超声清洗硅片，其特征在于，所述多面超声清洗机具有清洗槽以及设置于所述清洗槽的多个超声震板，所述清洗槽用于放置硅片，所述多个超声震板包括至少一个底超声震板和多个侧超声震板，所述底超声震板位于所述硅片的底部，所述多个侧超声震板相对设置于所述硅片的两侧。
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