[发明专利]一种合金集流体的高通量筛选方法在审
| 申请号： | 201711371295.3 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108362849A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 张晓琨;税烺 | 申请（专利权）人： | 成都亦道科技合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | G01N33/20 | 分类号： | G01N33/20;G01N3/00;G01N3/42;G01N1/28 |
| 代理公司： | 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 610213 四川省成都市天府新区天府大道*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种合金集流体的高通量筛选方法，包括如下步骤：提供一基片以及至少两种可形成合金的单质元素靶材，该基片上包括多个样品区；按照预设样品靶材沉积比例，通过磁控溅射镀膜技术，在每个样品区同时制备包括同样种类单质元素的交替沉积的薄膜前驱体，每个样品区中相同层薄膜为同一种单质元素，但元素沉积量不同；同时热处理多个样品区的多个多层薄膜前驱体，以获得多个合金相样品；检测样品相关物理化学性质，得到每个样品对应性质数据；将每个样品区的样品元素比例、制备条件数据与性质数据相关联，以形成样品数据库；按照预定标准通过数据库进行样品数据筛选。上述方法可短时间内筛选出所需的合金集流体数据。 | ||
| 搜索关键词： | 样品区 合金 单质元素 集流体 高通量筛选 性质数据 前驱体 靶材 薄膜 磁控溅射镀膜 物理化学性质 筛选 样品数据库 热处理 多层薄膜 检测样品 交替沉积 样品数据 样品元素 预定标准 元素沉积 制备条件 合金相 沉积 预设 制备 数据库 关联 | ||
【主权项】：
1.一种合金集流体的高通量筛选方法，用于快速制备和筛选出所需合金集流体，其特征在于，包括如下步骤：提供一基片以及至少两种可形成合金的单质元素靶材，该基片上包括多个样品区；按照预设样品靶材沉积比例，通过磁控溅射镀膜技术，在每个样品区同时制备包括同样种类单质元素的交替沉积的薄膜前驱体，每个样品区中相同层薄膜为同一种单质元素，但元素沉积量不同；同时热处理多个样品区的多个多层薄膜前驱体，以获得多个合金相样品；检测样品相关物理化学性质，得到每个样品对应性质数据；将每个样品区的样品元素比例、制备条件数据与性质数据相关联，以形成样品数据库；按照预定标准通过数据库进行样品数据筛选。
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