[发明专利]一种新型的金属遮罩的支撑平台及检测装置在审
申请号: | 201711373480.6 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN107894427A | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 吴自强;杨慎东;郭连俊 | 申请(专利权)人: | 苏州精濑光电有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/90 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215125 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型的金属遮罩的支撑平台及检测装置,包括两个气浮板和安装光源的框体,其中,两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接;所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件,其中一个所述金属遮罩安装件上设有光电发射器,另一个所述金属遮罩安装件上设有光电接收器,且所述光电发射器与所述光电接收器正对设置,在金属遮罩任一局部高于所述光电发射器与所述光电接收器所在的平面时,所述光电发射器与所述光电接收器发出信号;所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔,与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔,所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 金属 支撑 平台 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种新型的金属遮罩的支撑平台,其特征在于,包括两个气浮板和安装光源的框体,其中,两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接;所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件,其中一个所述金属遮罩安装件上设有光电发射器,另一个所述金属遮罩安装件上设有光电接收器,且所述光电发射器与所述光电接收器正对设置,所述光电发射器及所述光电接收器所在的平面与金属遮罩张紧并呈水平状态下的平面持平,在金属遮罩任一局部高于所述光电发射器与所述光电接收器所在的平面时,所述光电发射器与所述光电接收器发出信号;所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔,与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔,所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。
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