[发明专利]一种高可靠的研磨机关停控制装置及其方法

摘要

本发明公开了一种高可靠的研磨机关停控制装置，包括测频系统研磨机控制电路模块、连接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机；所述测频系统控制电路模块与两个串联的研磨机关停控制器通过连接口连接，所述研磨机与两个串联的研磨机关停控制器通过电性连接；所述研磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器；所述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控制模块；本发明提供了一种可靠性高、结构简单合理、制作方便、基于双路控制和带自检功能的适用于石英晶片研磨在线测频系统关停研磨机的控制装置及其方法。

主权项

一种高可靠的研磨机关停控制装置，其特征在于，包括测频系统研磨机控制电路模块、连接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机；所述测频系统控制电路模块与两个串联的研磨机关停控制器通过连接口连接，所述研磨机与两个串联的研磨机关停控制器通过电性连接；所述研磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器；所述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控制模块；所述关停研磨机控制模块与研磨机控制自检模块通过三极管进行控制通讯，所述控制通讯为，关停研磨机控制模块导通工作后在IO口输出低电平，使IO口控制的光耦导通，使得三极管的B极生成一个低压电值，从而导通三极管，使得研磨机控制自检模块的IO口的输入电平由高电平转为低电平，从而判断控制电路的状况；所述研磨机控制输出自检模块与研磨机控制自检模块之间设置串联的标识灯和第一限流电阻，所述标识灯为并联的LED灯和外接的指示灯，用以显示电路的状况；进一步的，所述自检控制装置的输出电流控制在10至12mA。