[发明专利]一种超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 201711379373.4 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN108169265A 公开(公告)日: 2018-06-15
发明(设计)人: 方峰;周立初;蒋建清;周雪峰;涂益友;陈得友 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01N23/22 分类号: G01N23/22;G01N1/28
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 唐循文
地址: 210096 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜的制备方法,截取金属丝样品并拉直固定;将一对钼圆环上下贴于金属丝上,使金属丝从钼圆环中空部位露出即可,剪断钼环外的金属丝完成封装;将封装好的钼环放入离子减薄仪的样品台上,离子能量1~5Kev,离子束入射角1°~10°进行减薄,观察样品减薄的情况,当金属丝从中间出现穿孔或断开后,即可将样品取出得超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜。本发明操作简单,成功率高,制样成本低,还可避免制样过程中出现的变形、污染、非晶化等问题,大幅降低了样品存取、保存的难度;可以广泛用于制备极细直径的金属丝纵截面样品。 1
搜索关键词: 金属丝 纵截面 透射电镜样品 超细金属丝 制备 薄膜 圆环 制样 钼环 封装 金属丝样品 离子减薄 离子能量 样品存取 样品减薄 中空部位 非晶化 离子束 入射角 穿孔 截取 断开 放入 剪断 减薄 拉直 成功率 变形 取出 保存 观察 污染
【主权项】:
1.一种超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜的制备方法,其特征在于制备步骤为:1)样品截取和固定:截取金属丝样品并拉直固定;2)钼环封装:将一对钼圆环上下贴于金属丝上,使金属丝从钼圆环中空部位露出即可,剪断钼环外的金属丝完成封装;3)离子束减薄:将封装好的钼环放入离子减薄仪的样品台上,离子能量1~5Kev,离子束入射角1°~10°进行减薄,观察样品减薄的情况,当金属丝从中间出现穿孔或断开后,即可将样品取出得超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜。

2.根据权利要求1所述一种超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜的制备方法,其特征在于所述样品进行固定时,先将金属丝的一端固定并限位,拉直,再将钢丝另一端限位并固定。

3.根据权利要求1所述一种超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜的制备方法,其特征在于离子束减薄时,离子束入射角度为3°。

4.根据权利要求1所述一种超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜的制备方法,其特征在于离子束减薄时,离子束能量为3Kev。

5.根据权利要求1所述一种超细金属丝纵截面透射电镜样品薄膜的制备方法,其特征在于钼环的直径为3mm,厚度不大于40μm。

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