[发明专利]全压力微小泄漏精密测量系统

摘要

本发明属于测量技术领域，具体涉及一种全压力微小泄漏精密测量系统。由球阀、截止阀、三通密封阀、高精度差压规及仪表控制单元、计时器、真空泵、定容室、配气室、气瓶与管路接头组成，采用球阀通过管路将已知容积的定容室与配气室连接，利用截止阀连接高精度差压规，三通密封阀连接真空泵。将被测件、高精度差压规、定容室及配气室达到压力平衡后，关闭球阀，打开截止阀门，让微小泄漏气体通过管路引入定容室中，通过高精度差压规流向配气室，可以得出被测件随时间累积的压力变化量。具有操作方便，体积小、测量范围宽、测量精度高、不受气源介质干扰，可全压力测量，便于携带，造价低等优点。

主权项

全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：包括定容室(3)、高精度差压规(5)、仪表控制单元(6)、配气室(4)、真空泵(7)；所述定容室(3)通过管路、球阀V4(11)与配气室(4)连接；所述高精度差压规(5)通过管路并联在球阀V4(11)的进口端和出口端；高精度差压规(5)的进口端与出口端分别设有截止阀V2(9)与截止阀V3(10)；所述仪表控制单元(6)与高精度差压规(5)连接；所述真空泵(7)通过管路、三通密封阀V5(12)与定容室(3)和配气室(4)连接；被测件(2)通过管路、截止阀V1(8)与定容室(3)连接。