[发明专利]一种用于负压测量的MEMS充油压力传感器在审
| 申请号： | 201711383676.3 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN107907262A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 单建利 | 申请（专利权）人： | 深圳瑞德感知科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙)11296 | 代理人： | 张淑贤 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南山区西丽街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于负压测量的MEMS充油压力传感器，包括基座，基座上设有容纳硅油的空腔，基座的上侧设有用于感应外界压力的金属膜片，基座与金属膜片之间形成密封空腔，基座与金属膜片对应的底板上设有通孔，底板的下表面固定有压力芯片，压力芯片的通气孔与通孔相通，压力芯片通过密封胶粘接固定在底板上，所述空腔、所述通孔和所述通气孔内填充有硅油。本发明的MEMS充油压力传感器，在测量负压时，压力通过金属膜片、硅油、压力芯片的通气孔作用在压力芯片上，使得压力芯片趋于贴紧在底板的下表面，由此不需要考虑压力芯片与基座之间的粘接强度，长期进行负压测量也不会出现压力芯片脱离，结构简单且可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 mems 油压 传感器 | ||
【主权项】：
一种用于负压测量的MEMS充油压力传感器，包括基座，所述基座上设有容纳硅油的空腔，所述基座的上侧设有用于感应外界压力的金属膜片，所述基座与所述金属膜片之间形成密封空腔，其特征在于，所述基座与所述金属膜片对应的底板上设有通孔，所述底板的下表面固定有压力芯片，所述压力芯片的通气孔与所述通孔相通，所述压力芯片通过密封胶粘接固定在所述底板上，所述空腔、所述通孔和所述通气孔内填充有硅油。
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