[发明专利]一种具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关有效
| 申请号： | 201711383679.7 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108109879B | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 伍林;张洋洋 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | H01H37/46 | 分类号： | H01H37/46 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郑金荣;胡晶 |
| 地址： | 200235 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及的是一种微机电系统技术领域的微驱动器，属于一种具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关。它包括衬底、分段式双层膜电热驱动单元、基座和电接触单元，所述分段式双层膜电热驱动单元、基座和电接触单元均位于衬底上，所述分段式双层膜电热驱动单元固定设在基座上，基座于衬底固定连接，所述电接触单元设置在分段式双层膜电热驱动单元上方；所述电接触单元包括静接触点、V型支撑梁、柔性弹簧和弧形电接触质量块，所述V型支撑梁固定在分段式双层膜电热驱动单元上方，弧形电接触质量块通过柔性弹簧连接在V型支撑梁上，所述静接触点设置在弧形电接触质量块上方，静接触点与弧形电接触质量块相配合，所述静接触点与外界电路连接。 | ||
| 搜索关键词： | 分段式 双层膜 电热驱动单元 电接触单元 电接触 接触点 质量块 衬底 电热驱动 柔顺机构 柔性弹簧 微机电系统技术 固定设在基座 外界电路 微驱动器 配合 | ||
【主权项】：
1.一种具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：它包括衬底、分段式双层膜电热驱动单元、基座和电接触单元，所述分段式双层膜电热驱动单元、基座和电接触单元均位于衬底上，所述分段式双层膜电热驱动单元固定设在基座上，基座于衬底固定连接，所述电接触单元设置在分段式双层膜电热驱动单元上方；所述电接触单元包括静接触点、V型支撑梁、柔性弹簧和弧形电接触质量块，所述V型支撑梁固定在分段式双层膜电热驱动单元上方，弧形电接触质量块通过柔性弹簧连接在V型支撑梁上，所述静接触点设置在弧形电接触质量块上方，静接触点与弧形电接触质量块相配合，所述静接触点与外界电路连接。
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