[发明专利]光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统有效
| 申请号： | 201711384841.7 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109946927B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 王丽;王海江;程鹏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了光对准信号处理方法，包括以下步骤：步骤1、光信号采集模块采集对准测量的多级次光信号信息；步骤2、滤波模块对所述多级次光信号信息处理，并允许a级次光信号信息通过；步骤3、对所述a级次光信号信息进行处理、分析，得到对准信息；其中，所述a级次光信号信息可以为1、3、5……级次光信号信息中的一个或多个。本发明提供的光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统能够使得对准精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 信号 处理 方法 光栅 以及 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光对准信号处理方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、光信号采集模块采集对准测量的多级次光信号信息；步骤2、滤波模块对所述多级次光信号信息处理，并允许a级次光信号信息通过；步骤3、对所述a级次光信号信息进行处理、分析，得到对准信息；其中，所述a级次光信号信息可以为1、3、5……级次光信号信息中的一个或多个。
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