[发明专利]一种铝垫层析出的监测结构及其监测方法在审

专利信息
申请号: 201711393084.X 申请日: 2017-12-21
公开(公告)号: CN108133899A 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 胡永锋;王焱;陈雷刚;周柯 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开一种铝垫层析出的监测结构及监测方法。铝垫层析出的监测结构,包括:第一测试铝垫和第二测试铝垫,用于外测电压施加的输入端;网格铝线,呈网格状,并与第一测试铝垫电连接;微型铝垫,设置在网格内,并与网格铝线成间距设置,且通过通孔及顶层金属层与第二测试铝垫电连接。铝垫层析出之监测方法,包括:步骤S1,获取无铝析出的网格铝线与微型铝垫之间的电流值,并设定为预设判定漏电规格值;步骤S2:在第一测试铝垫和第二测试铝垫之间施加外测电压,获得网格铝线与微型铝垫之间的实际电流值,比较实际电流值与预设判定漏电规格值;步骤S3:根据比较结果,判定短路风险。本发明不仅监测范围覆盖大,结构简单,而且可高效的判定短路风险。
搜索关键词: 铝垫 网格 铝线 析出 测试 铝垫层 监测结构 判定 监测 漏电 实际电流 电连接 短路 预设 顶层金属层 电压施加 范围覆盖 间距设置 铝析出 输入端 网格状 通孔 施加
【主权项】:
一种铝垫层析出的监测结构,其特征在于,所述铝垫层析出的监测结构,包括:第一测试铝垫和第二测试铝垫,所述第一测试铝垫和所述第二测试铝垫用于外测电压施加的输入端;网格铝线,所述网格铝线呈网格状设置,并与所述第一测试铝垫电连接;微型铝垫,所述微型铝垫设置在所述网格铝线之网格内,并与所述网格铝线成间距设置,且所述微型铝垫通过通孔及顶层金属层与所述第二测试铝垫电连接。
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