[发明专利]研磨垫使用寿命的监测方法及监测设备在审
| 申请号： | 201711394144.X | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108145594A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 曹玉荣;李虎;张守龙;赵正元;于明非;杨钰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/27;B24B37/34;B24B49/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫使用寿命的监测方法及监测设备，该方法包括通过感测垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化，反应垫片调整器相对于研磨垫的摩擦力变化，以表示研磨垫的表面粗糙度状态的变化，来确定研磨垫是否达到使用寿命的步骤，当电流变化达到某一特定的电流值时，判断研磨垫达到了使用寿命期限，否则判断未达到使用寿命期限。该监测设备包括转轴、研磨台、研磨垫、研磨头、研磨液输送管、垫片调整器、电流传感器。本发明能够提高研磨垫的利用率，能够准确判断研磨垫是否超出使用寿命期限，能够判断研磨垫是否对晶圆表面造成损伤，能够及时反馈研磨垫的使用寿命状态，具有提高生产效率，减小经济损失的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 使用寿命 监测设备 垫片调整 电流变化 期限 表面粗糙度 电流传感器 摩擦力变化 研磨液输送 反应垫片 晶圆表面 经济损失 生产效率 研磨运动 调整器 研磨台 研磨头 监测 感测 减小 转轴 损伤 反馈 | ||
【主权项】：
一种研磨垫使用寿命的监测方法，其特征在于，通过感测垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化，反应垫片调整器相对于研磨垫的摩擦力变化，以表示研磨垫的表面粗糙度状态的变化，来确定研磨垫是否达到使用寿命的步骤；当垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化达到某一特定的电流值时，判断研磨垫达到了使用寿命期限，否则判断未达到使用寿命期限。
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