[发明专利]一种HJT异质结电池及其多层透明导电薄膜

摘要

一种多层透明导电薄膜及其制备方法，所述多层透明导电薄膜包括至少两层叠加的透明导电薄膜，至少两层透明导电薄膜均为ITO薄膜，所述第一层ITO薄膜的锡的掺量为10‑15重量％，所述第二层ITO薄膜的锡的掺量≥5重量％且＜10重量％；所述制备方法包括：在真空条件下连续制备多层ITO薄膜，并且在一层ITO薄膜与另一层ITO薄膜的过渡过程中，维持真空状态。本申请还提供了一种包括上述多层透明导电薄膜的HJT异质结电池。本申请的多层透明导电薄膜的光电性能较好，与p、n型非晶硅层的功函数匹配；HJT电池的各项性能指标都得到了提升。

主权项

1.一种多层透明导电薄膜，其特征在于，所述多层透明导电薄膜包括至少两层叠加的透明导电薄膜，至少两层透明导电薄膜均为ITO薄膜，所述第一层ITO薄膜的锡的掺量为10‑15重量％，所述第二层ITO薄膜的锡的掺量≥5重量％且＜10重量％。