[发明专利]一种用于大尺寸圆棒硅单晶多线切割后脱胶的装置及工艺在审
| 申请号： | 201711398836.1 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109940771A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 苏冰;安瑞阳;王新;曲翔;史训达 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于大尺寸圆棒硅单晶多线切割后脱胶的装置及工艺。该装置包括两个固定板、两根支撑杆、两根滑动杆及两个可拆卸的插片，两个固定板之间通过两根支撑杆固定支撑，每个固定板上均对称的设有两个弧形滑槽，同一固定板上的两个弧形滑槽所在的圆的尺寸与晶圆尺寸相当；两根滑动杆相互平行的设置在两个固定板之间，其端部位于弧形滑槽内，并可沿弧形滑槽滑动；两端插片用于硅片轴向定位并可根据晶棒的长短进行轴向调整。该工艺包括：(1)溶液配置、(2)溶液温度控制、(3)晶圆与装置固定、(4)脱胶等工序。本发明能够起到晶圆表面预清洗的作用，进一步简化手动脱胶的流程，减少脱胶过程中崩边和裂片的产生，提高单晶切片的出片率。 | ||
| 搜索关键词： | 固定板 弧形滑槽 脱胶 多线切割 硅单晶 滑动杆 支撑杆 晶圆 圆棒 溶液温度控制 固定支撑 晶圆表面 可拆卸的 两端插片 溶液配置 脱胶过程 轴向调整 轴向定位 装置固定 滑动 出片率 预清洗 硅片 切片 崩边 插片 单晶 晶棒 裂片 平行 对称 | ||
【主权项】：
1.一种用于大尺寸圆棒硅单晶多线切割后脱胶的装置，其特征在于，包括两个固定板、两根支撑杆、两根滑动杆及两个可拆卸的插片，两个固定板之间通过两根支撑杆固定支撑，每个固定板上均对称的设有两个弧形滑槽，同一固定板上的两个弧形滑槽所在的圆的尺寸与晶圆尺寸相当；两根滑动杆相互平行的设置在两个固定板之间，其端部位于弧形滑槽内，并可沿弧形滑槽滑动；通过将两根滑动杆滑动至弧形滑槽的底部，来限制晶圆沿径向的移动；两个插片的端部均具有用于连接支撑杆的开槽，通过将支撑杆插入开槽中，来限制晶圆沿轴向方向的移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研半导体材料有限公司，未经有研半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711398836.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种金刚石切割刀片实验装置
- 下一篇：可遥控式消防用金刚石串珠绳锯破拆装备
