[发明专利]硅基微气相色谱柱及其制备方法在审
| 申请号： | 201711403787.6 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN109959746A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 冯飞;罗凡;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N30/60 | 分类号： | G01N30/60 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种硅基微气相色谱柱及其制备方法，在硅微色谱柱的微沟道的内表面上设计并制备出一层细密的硅纳米线森林，纳米线线径一般分布在几纳米至几十纳米之间。这种细密的硅纳米线森林极大地增大了硅微色谱柱的表面积，从而有效地提高了硅微色谱柱的柱容量、分离度和柱效。 | ||
| 搜索关键词： | 色谱柱 制备 硅纳米线 硅基 微气 分离度 纳米线 内表面 微沟道 有效地 柱容量 森林 线径 柱效 | ||
【主权项】：
1.一种硅基微气相色谱柱的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括步骤：1)提供一硅衬底，于所述硅衬底中制作微沟道；2)采用金属辅助化学刻蚀工艺于所述微沟道的内表面制备硅纳米线森林；以及3)提供一封装盖板，将所述封装盖板与所述硅衬底进行键合，以封闭所述微沟道，形成硅基微气相色谱柱的微通道。
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