[发明专利]含氟热化学气相沉积方法和制品在审
| 申请号： | 201711405563.9 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN109957788A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | D·A·史密斯 | 申请（专利权）人： | 西尔科特克公司 |
| 主分类号： | C23C16/56 | 分类号： | C23C16/56;C23C16/22;C23C16/02;C23C16/455 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了热化学气相沉积处理。具体而言，热化学气相沉积处理的制品包括基材和所述基材上的疏油处理层，所述疏油处理层具有氧、碳、硅、氟和氢。所述疏油处理层的处理厚度小于600nm并具有不均匀的润湿机制。所述热化学气相沉积方法包括将制品放置在热化学气相沉积室内，使二甲基硅烷热反应以产生层，氧化所述层以产生氧化层，并对该氧化层进行氟官能化以产生经氧化然后氟官能化的二甲基硅烷化学气相沉积处理层。所述经氧化然后氟官能化的二甲基硅烷化学气相沉积处理层的处理厚度小于600nm并具有不均匀的润湿机制。 | ||
| 搜索关键词： | 热化学气相沉积 二甲基硅烷 氟官能化 疏油处理 润湿 化学气相沉积 不均匀 处理层 氧化层 基材 产生层 热反应 含氟 室内 | ||
【主权项】：
1.热化学气相沉积处理的制品，其包含：基材；和所述基材上的疏油处理层，所述疏油处理层具有氧、碳、硅、氟、和氢；其中所述疏油处理层的处理厚度小于600nm且具有不均匀的润湿机制。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
