[发明专利]一种在聚酰亚胺基底上制备金属膜的方法在审
| 申请号： | 201711405852.9 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108315692A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王金晓;张凯锋;王艺;李学磊;王兰喜 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种在聚酰亚胺基底上制备金属膜的方法，属于天基预警雷达天线技术领域。本发明所述方法是在磁控溅射沉积金属膜的过程中引入激光冲击处理技术，使金属膜沉积过程与激光冲击处理过程交替进行，从而减少金属膜沉积过程中产生的残余应力，从而解决了制备厚(≥5μm)金属膜时存在的卷曲变形以及开裂脱落的问题；并且通过激光冲击处理能够改变金属膜的微观结构，减少金属膜表面缺陷，降低金属膜电阻率，改善所制备的金属膜/聚酰亚胺复合薄膜的电学性能和力学性能，同时也为我国制备高质量、高精度和轻量化天基导弹预警雷达柔性薄膜天线提供了一种有效制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 制备 激光冲击处理 金属膜沉积 聚酰亚胺基 天基 激光冲击处理技术 聚酰亚胺复合薄膜 磁控溅射沉积 天线技术领域 金属膜表面 残余应力 导弹预警 电学性能 卷曲变形 力学性能 柔性薄膜 微观结构 预警雷达 电阻率 轻量化 天线 雷达 引入 | ||
【主权项】：
1.一种在聚酰亚胺基底上制备金属膜的方法，其特征在于：所述方法步骤如下，(1)采用磁控溅射方法在聚酰亚胺基底上沉积金属膜；(2)选用纳秒激光器产生的激光对步骤(1)沉积的金属膜进行冲击处理；(3)在步骤(2)激光冲击处理后的金属膜上，按照先沉积金属膜再进行激光冲击处理的顺序，交替进行沉积金属膜和激光冲击处理的操作，直至在聚酰亚胺基底上沉积出所需要厚度的金属膜；其中，每次沉积的金属膜厚度分别独立为50nm～500nm；在所述激光冲击处理的操作中，采用的激光能量密度为0.4GW/cm2～5GW/cm2，对每次沉积的金属膜进行冲击处理的次数为1～3次。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所，未经兰州空间技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711405852.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
