[发明专利]一种激光发生器反射板制作方法有效
| 申请号： | 201711408163.3 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108149197B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 薛龙建;谭迪;黄家辉;张国栋 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/08;C25D11/04;C23C28/00;C23C14/58 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光发生器反射板制作方法，在铜基体上利用物理气相沉积在惰性气体保护气氛下沉积一层纳米厚度的纯铬薄膜，再在纯铬薄膜上用物理气相沉积法沉积一层微米厚度的纯铝薄膜，最后通过反应蒸镀法、多弧离子束氧化或阳极氧化等方法在纯铝薄膜表面制备作为反射层的三氧化二铝薄膜，完成激光发生器反射板制作；采用本方法制作工艺稳定，对工件的热应力变形小，本发明制备的激光发生器反射板热稳定性强、光学性能优异，激光反射率能够达80～95％；其最薄弱界面结合力高于500MPa，使用寿命达到2～4年。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 发生器 反射 制作方法 | ||
【主权项】：
一种激光发生器反射板制作方法，其特征在于，通过该方法制成的反射板由铜基体、纯铬层、纯铝层和作为反射层的三氧化二铝薄膜组成四层结构，具体制作步骤如下：步骤一、铜基体预处理，先对铜基体进行表面打磨抛光，然后进行清洗，得到预处理后的铜基体；步骤二、镀铬，通过物理气相沉积镀铬，在铜基体表面镀上纳米级厚度的纯铬层，形成镀铬层；步骤三、镀铝，通过物理气相沉积镀铝，在纯铬层表面镀上微米级厚度的纯铝层，形成镀铝层；步骤四、氧化，对纯铝层表面进行氧化处理，使纯铝层表面生成作为反射层的三氧化二铝薄膜；步骤五、通过去应力退火消除步骤二到步骤四中产生的内应力，即完成激光发生器反射板的制作。
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