[发明专利]一种BCB辅助增强的肖特基二极管阳极空气桥制作方法

摘要

本发明公开了一种BCB辅助增强的肖特基二极管阳极空气桥制作方法，其步骤为：光刻形成空气桥下层胶；光刻形成空气桥上层胶；制作空气桥金属，连接阳极接触金属与阳极电极板；台面电隔离腐蚀；旋涂并固化BCB介质；光刻并刻蚀出BCB支撑结构，完成BCB辅助增强的肖特基二极管阳极空气桥制作。本发明采用BCB支撑结构，为空气桥与阳极电极板之间提供机械固定，降低了空气桥被拉扯变形的风险，提高器件成品率。

主权项

一种BCB辅助增强的肖特基二极管阳极空气桥制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，在外延层表面旋涂光刻胶并光刻，形成空气桥下层胶，空出阳极接触孔及阳极电极板区域；步骤2，制作电镀种子层金属，在电镀种子层金属上旋涂空气桥上层胶并光刻，形成空气桥以及阳极电极板上层胶图形；步骤3，电镀空气桥及阳极电极板金属，并用有机溶剂将空气桥上层胶去除，刻蚀裸露的电镀种子层金属，使用有机溶剂将空气桥下层胶去除，完成阳极电极板以及连接阳极电极板与阳极接触金属的空气桥结构的制作；步骤4，光刻出台面电隔离腐蚀掩膜图形，并腐蚀外延层材料，去除光刻胶掩膜；步骤5，旋涂BCB溶液，厚度包裹正面全部结构，包括空气桥与阴极阳极台面，并对BCB进行固化；步骤6，光刻BCB支撑结构掩膜图形，通过干法刻蚀，去除裸露部位的BCB介质，仅留下光刻掩膜下方的BCB支撑结构以及金属桥下方的BCB介质，完成BCB辅助增强的肖特基二极管阳极空气桥制作。