[发明专利]大面积簇射头组件

摘要

本发明涉及一种大面积簇射头组件，其特征在于具备：背衬板，具备在腔室的上部；以及簇射头，具备在所述背衬板的下部而向基板供给气体；且所述簇射头以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板。本发明的大面积簇射头组件在将大型化或大面积化的簇射头连接到背衬板的情况下，可不下垂而牢固地连接，并且可容许因热膨胀引起的体积变化。

主权项

1.一种大面积簇射头组件，其特征在于，包括：背衬板，具备在腔室的上部；簇射头，具备在所述背衬板的下部而向基板供给气体，且所述簇射头以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板；以及连接部，连接所述簇射头与所述背衬板，其中所述簇射头具备沿所述簇射头的上表面边缘向上延伸的延伸部，所述延伸部插入所述连接部，并且以可实现热膨胀的方式连接所述连接部，以支撑所述簇射头，所述连接部包括：供所述延伸部插入的槽部或开口部，所述槽部或开口部的容积大于所述延伸部的尺寸，以容纳所述延伸部并允许所述簇射头的热膨胀；以及支撑部，具备未固定于所述背衬板的侧壁的端部，并且所述端部贯通所述背衬板的所述侧壁而固定到所述延伸部，以支撑所述延伸部。