[发明专利]一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法有效
申请号: | 201711415985.4 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN108101533B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 王星明;刘宇阳;彭程;储茂友;白雪 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院 |
主分类号: | C04B35/48 | 分类号: | C04B35/48;C04B35/622;C04B35/50 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 陈波 |
地址: | 100088 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明属于陶瓷靶材制备技术领域,特别涉及一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法。该陶瓷靶材为氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷靶材,Gd |
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搜索关键词: | 一种 热障 涂层 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法,所述陶瓷靶材为氧化钇稳定氧化锆陶瓷靶材、Gd2 Zr2 O7 陶瓷靶材,La2 Ce2 O7 陶瓷靶材、La2 O3 +CeO2 +Gd2 O3 陶瓷靶材、La2 O3 +CeO2 +Ta2 O5 陶瓷靶材、La2 O3 +CeO2 +ZrO2 +Y2 O3 陶瓷靶材;其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:(1)将原料机械混合均匀后造粒,得到粉体A;(2)对粉体A进行高温固相反应,得到粉体B;(3)对粉体B进行冷等静压、烧结、真空退火、切削加工处理,即得到陶瓷靶材。
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