[发明专利]一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法有效

专利信息
申请号: 201711415985.4 申请日: 2017-12-25
公开(公告)号: CN108101533B 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 王星明;刘宇阳;彭程;储茂友;白雪 申请(专利权)人: 北京有色金属研究总院
主分类号: C04B35/48 分类号: C04B35/48;C04B35/622;C04B35/50
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 陈波
地址: 100088 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于陶瓷靶材制备技术领域,特别涉及一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法。该陶瓷靶材为氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷靶材,Gd2Zr2O7陶瓷靶材,La2Ce2O7陶瓷靶材,La2O3+CeO2+Gd2O3、La2O3+CeO2+Ta2O5、La2O3+CeO2+ZrO2+Y2O3陶瓷靶材,通过机械混合、造粒、高温固相反应、冷等静压、烧结、真空退火、切削加工处理即可得到目标尺寸的陶瓷靶材;通过本发明提供的制备方法制备的陶瓷靶材纯度高达99.9%以上,能有效避免偏析、喷溅、开裂等问题,靶材微观结构组织均匀、强度高。
搜索关键词: 一种 热障 涂层 陶瓷 制备 方法
【主权项】:
1.一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法,所述陶瓷靶材为氧化钇稳定氧化锆陶瓷靶材、Gd2Zr2O7陶瓷靶材,La2Ce2O7陶瓷靶材、La2O3+CeO2+Gd2O3陶瓷靶材、La2O3+CeO2+Ta2O5陶瓷靶材、La2O3+CeO2+ZrO2+Y2O3陶瓷靶材;其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:(1)将原料机械混合均匀后造粒,得到粉体A;(2)对粉体A进行高温固相反应,得到粉体B;(3)对粉体B进行冷等静压、烧结、真空退火、切削加工处理,即得到陶瓷靶材。
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