[发明专利]一种单晶硅片制绒废液的处理方法

摘要

本发明公开了一种单晶硅片制绒废液的处理方法，将废液通过粗蒸分为含水12.6%的粗异丙醇以及氢氧化钠与硅酸钠的混合溶液，通过萃取与反萃取将氢氧化钠与硅酸钠的混合溶液分离为氢氧化钠溶液与硅酸钠溶液，硅酸钠溶液直接回收用于诸多工业领域；氢氧化钠溶液通过充氮蒸馏形成固体氢氧化钠，作为脱水剂用于对粗异丙醇进行脱水处理，或回用于单晶硅制绒中，脱水处理后的异丙醇再经过恒沸蒸馏得到含水量小于0.5%的高纯度异丙醇。本发明实现单晶硅片制绒废液的高度回用与无害化排放，节约化学原料的消耗，并减少有机废水的排放与处理费用，在降低生产成本的同时保护了环境。

主权项

1.一种单晶硅片制绒废液的处理方法，包括如下步骤：（A）将单晶硅片制绒废液从废液罐（1）中输送至粗蒸塔（2）进行二元共沸蒸馏，由塔顶经第一冷凝器（31）冷凝得到异丙醇与水共沸形成的粗异丙醇，由塔底得到氢氧化钠与硅酸钠的水溶液；（B）将步骤（A）中得到的氢氧化钠与硅酸钠的水溶液输送至萃取塔（4）内使用萃取剂对氢氧化钠进行萃取，由塔顶经第二冷凝器（32）冷凝得到氢氧化钠的萃取剂溶液，由塔底得到硅酸钠的水溶液；（C）将步骤（B）中得到的氢氧化钠的萃取剂溶液输送至反萃取塔（5）内使用反萃剂进行反萃取，由塔顶经第三冷凝器（33）冷凝重新得到步骤（B）中使用的萃取剂，由塔底得到氢氧化钠的反萃剂溶液；（D）将步骤（C）中得到的氢氧化钠的反萃剂溶液通过蒸馏器（6）进行充氮蒸馏，蒸馏得到反萃剂并补充回反萃取塔（5），蒸馏器（6）内得到冷却结晶后的固体氢氧化钠；（E）将步骤（A）中得到的粗异丙醇输送至脱水罐（7）中，使用步骤（D）中得到的固体氢氧化钠作为脱水剂对粗异丙醇进行脱水，期间进行不停搅拌，而后静置分层，分别得到含水量小于2%的异丙醇以及氢氧化钠水溶液；（F）将步骤（E）中得到的含水量小于2%的异丙醇输送至恒沸精馏塔（8）中进行恒沸精馏，由塔顶经第四冷凝器（34）冷凝得到含异丙醇、水、恒沸剂的三元恒沸物，由塔底得到含水量小于0.5%的异丙醇；（G）将步骤（F）中得到的含异丙醇、水、恒沸剂的三元恒沸物输送至液体分离器（9）进行分层，上层得到恒沸剂并将其回收补充至恒沸精馏塔（8）用，下层得到异丙醇、水以及残留的恒沸剂的混合物；（H）将步骤（G）得到的异丙醇、水以及残留的恒沸剂的混合物输送至再沸塔（10）进行再处理，由塔顶经第五冷凝器（35）冷凝再次得到含异丙醇、水、恒沸剂的三元恒沸物并回送至液体分离器（9）中，由异丙醇和水组成的塔底釜液返回粗蒸塔（2）中重新进行分离。