[发明专利]一种柔性气体传感器有效
| 申请号： | 201711424385.4 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108195886B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 胡静 | 申请（专利权）人： | 泰州市赛得机电设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 李亮;李余江 |
| 地址： | 225300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性气体传感器，其包括柔性衬底、气体传感阵列、空隙以及空腔，所述柔性衬底中凹槽，所述凹槽的底部和侧壁形成一刚性绝缘层，在所述凹槽底部的刚性绝缘层上设置阵列气体传感器，所述空腔设置在凹槽一侧的柔性衬底中，空腔与凹槽之间具有刚性绝缘层和柔性衬底一部分隔开，在空腔与凹槽之间的刚性绝缘层和柔性衬底部分具有通孔，所述空腔在柔性衬底发生形变时体积产生变化，解决了目前气体传感器无法应用在柔性状态下的问题，使气体传感器实现柔性化，通过结构改进并设置空腔，实现了待探测气体与外界交互的实时性，为可穿戴设备提供气体传感功能提供了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 气体 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种柔性气体传感器，其包括柔性衬底、气体传感阵列、空隙以及空腔，其特征在于，所述柔性衬底中凹槽，所述凹槽的底部和侧壁形成一刚性绝缘层，所述刚性绝缘层的弹性模量小于柔性衬底的弹性模量，在所述凹槽底部的刚性绝缘层上设置阵列气体传感器，阵列气体传感器包括多个阵列排布的传感位点，在阵列气体传感位点上方形成空隙，所述空隙的上方具有盖层，所述盖层中设置有通气孔，所述空腔设置在凹槽一侧的柔性衬底中，空腔与凹槽之间具有刚性绝缘层和柔性衬底一部分隔开，在空腔与凹槽之间的刚性绝缘层和柔性衬底部分具有通孔，所述空腔在柔性衬底发生形变时体积产生变化。
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