[发明专利]单体、聚合物和光致抗蚀剂组合物在审
| 申请号： | 201711424429.3 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108264605A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 柳義炫;金明烈;W-H·李;H·郑;K-H·任 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/28;C08F220/32;C08F220/20;G03F7/038;C07C69/54;C07C67/14;C07C319/20;C07D309/10;C07D335/02;C07C323/17;C07C69/757;C07C32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供包含碳脂环基或杂脂环基的单体和聚合物，所述基团包含1)一个或多个酸不稳定环取代基和2)一个或多个醚或硫醚环取代基。还提供包含这类聚合物的光致抗蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 光致抗蚀剂组合物 光致抗蚀剂 环取代基 类聚合物 酸不稳定 碳脂环基 硫醚环 脂环基 | ||
【主权项】：
1.一种聚合物，包含有包含以下的重复单元：碳脂环或杂脂环基，所述基团包含1)一个或多个酸不稳定环取代基和2)一个或多个任选被取代的醚或任选被取代的硫醚环取代基。
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