[发明专利]一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器在审
| 申请号： | 201711425764.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108318535A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 韦德永 | 申请（专利权）人： | 韦德永 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 234000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器，该湿敏传感器为电阻式，包括硅片衬底，在硅片衬底上设有WO3薄膜，WO3薄膜之上设有插指电极，并且在WO3薄膜之上、插指电极四周设有ZrO2薄膜，在插指电极和ZrO2薄膜之上设有CeO2薄膜，即，在WO3薄膜和CeO2薄膜之间设有插指电极和ZrO2薄膜；这样使得该插指电极能够同时接触WO3薄膜、CeO2薄膜和ZrO2薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电极 插指 湿敏传感器 氧化锆复合材料 硅片 衬底 电阻式 | ||
【主权项】：
1.一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器，该湿敏传感器为电阻式，包括硅片衬底，其特征在于，在硅片衬底上设有WO3薄膜，WO3薄膜之上设有插指电极，并且在WO3薄膜之上、插指电极四周设有ZrO2薄膜，在插指电极和ZrO2薄膜之上设有CeO2薄膜，即，在WO3薄膜和CeO2薄膜之间设有插指电极和ZrO2薄膜；这样使得该插指电极能够同时接触WO3薄膜、CeO2薄膜和ZrO2薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韦德永，未经韦德永许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711425764.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：岩心约束的电成像测井图像处理方法和装置
- 下一篇：智能在线分析仪探头
