[发明专利]一种平行排列的SiO2

摘要

本发明叙述了一种平行排列的SiO2纳米线的制备方法，该方法的整个过程是以SiO纳米粉作为反应源，在低真空环境下的一维高温管式炉的高温区发生反应，并随着保护气体的流通沉积到硅片衬底的低温区域上，该方法产量很高、操作方法简单、安全环保、成本低廉、不需添加催化剂，通过化学反应在高温反应下即可完成。利用该方法制备出的SiO2纳米线具有平行排列的结构，因其独特的新颖结构对开发材料性能的新领域有着重要的学术意义及应用。

主权项

一种平行排列的SiO₂纳米线制备方法，其特征在于：制备出的纳米线分布均匀，纳米线之间成平行结构排列，且不含催化剂。