[发明专利]一种柔性基板的改性方法有效
| 申请号： | 201711434964.7 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108091581B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王亚楠 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/56 | 分类号： | H01L21/56;H01L23/15 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种柔性基板的改性方法，该方法包括下述步骤：将聚酰亚胺溶液与纤维素纳米晶材料进行混合，得到混合物，并将混合物涂布在玻璃基板上；对涂布在玻璃基板上的混合物进行烘烤，去除混合物中的溶剂，并将混合物进行相态分离，并使得纤维素纳米晶材料靠近玻璃基板；对混合物进行加热固化，得到柔性基板；利用激光对柔性基板进行聚焦，将柔性基板与玻璃基板剥离。本发明可以降低柔性基板与玻璃基板的剥离难度，并且不需要借由牺牲层进行剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性基板 玻璃基板 混合物 纤维素纳米 剥离 改性 聚酰亚胺溶液 得到混合物 混合物涂布 加热固化 牺牲层 烘烤 溶剂 相态 去除 优化 激光 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种柔性基板的改性方法，其特征在于，包括下述步骤：将聚酰亚胺溶液与纤维素纳米晶材料进行混合，得到混合物，并将所述混合物涂布在玻璃基板上；对涂布在所述玻璃基板上的混合物进行烘烤，去除所述混合物中的溶剂，将所述混合物进行相态分离，并使得所述纤维素纳米晶材料靠近所述玻璃基板；对所述混合物进行加热固化，得到柔性基板；利用激光对所述柔性基板进行聚焦，将所述柔性基板与所述玻璃基板剥离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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