[发明专利]一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置及测试方法

摘要

一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置，包括第一透明板、第二透明板、第一柔性环形圈、第二柔性环形圈，第一柔性环形圈设置在第一透明板的内侧侧壁上，第二柔性环形圈设置在第二透明板的内侧侧壁上，还在第一透明板的内部设置第一测试液注入通道和第一排气通道，还在第二透明板的内部设置第二测试液注入通道和第二排气通道，本发明中通过将待测晶片进入电解液的方式引出待测晶片的两极，这种方式对测试后晶片无损伤、无影响，冲洗后仍然可以作为成品使用；通过第一柔性环形圈、第二柔性环形圈限定晶片的测试面积，对晶片表面无划伤、无破坏；通过从电解液中插入电极的方式引出晶片的两极，电阻无损耗，测试精度高。

主权项

1.一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置，其特征在于：包括第一透明板、第二透明板、第一柔性环形圈、第二柔性环形圈，第一透明板、第二透明板相对设置，第一柔性环形圈设置在第一透明板的内侧侧壁上，第二柔性环形圈设置在第二透明板的内侧侧壁上，第一柔性环形圈与第二柔性环形圈之间间隔用于夹紧待测晶片的距离，第一柔性环形圈、第二柔性环形圈在水平方向内重合设置，以使第一柔性环形圈在待测晶片的左侧端面上包围形成的表面积和第二柔性环形圈在待测晶片的右侧端面上包围形成的表面积相等，还在第一透明板的内部设置第一测试液注入通道和第一排气通道，第一测试液注入通道的入口端与外界连通，第一测试液注入通道的出口端从第一透明板的内侧侧壁穿出，以与第一柔性环形圈包围形成的第一测试区域连通，第一排气通道的入口端与外界连通，第一排气通道的出口端从第一透明板的内侧侧壁穿出，以与第一柔性环形圈包围形成的第一测试区域连通，第一测试液注入通道的出口端的高度靠近第一柔性环形圈的底部，第一排气通道的出口端的高度靠近第一柔性环形圈的顶部，还在第二透明板的内部设置第二测试液注入通道和第二排气通道，第二测试液注入通道的入口端与外界连通，第二测试液注入通道的出口端从第二透明板的内侧侧壁穿出，以与第二柔性环形圈包围形成的第二测试区域连通，第二排气通道的入口端与外界连通，第二排气通道的出口端从第二透明板的内侧侧壁穿出，以与第二柔性环形圈包围形成的第二测试区域连通，第二测试液注入通道的出口端的高度靠近第二柔性环形圈的底部，第二排气通道的出口端的高度靠近第二柔性环形圈的顶部，第一测试区域和第二测试区域用于填充测试用电解液。