[发明专利]一种固晶辅助设备及固晶机在审
申请号: | 201711443111.X | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108155127A | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 张银鸽;王建丁;曹俊星 | 申请(专利权)人: | 昆山思雷电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215332 江苏省苏州市昆*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种固晶辅助设备,包括显微镜装置、第一机器视觉检测装置以及推移装置,推移装置包括推头、第一运动机构以及第一控制系统,推头用于推移晶片,第一运动机构驱动连接推头,用于根据第一控制指令将推头自当前位置移送至设定位置,第一控制系统电连接图像处理主机和第一运动机构,用于根据当前位置和设定位置向第一运动机构发出第一控制指令,第一运动机构为三维精密移动平台。本发明公开的固晶辅助设备及固晶机,在点胶、固晶后,采用三维精密移动平台结合显微镜和机器视觉检查装置,以微米级别精确调整晶片位置,实现固晶精度的提高。 | ||
搜索关键词: | 运动机构 固晶 推头 辅助设备 三维精密移动平台 控制系统 控制指令 推移装置 固晶机 机器视觉检测装置 机器视觉检查 图像处理主机 显微镜装置 晶片位置 驱动连接 微米级别 电连接 点胶 晶片 显微镜 推移 | ||
【主权项】:
一种固晶辅助设备,其特征在于,包括:显微镜装置,其包括工作台A和显微镜,所述工作台A用于放置带有芯片矩阵和晶片的载体,所述显微镜设于所述工作台A上方,用于放大所述载体上芯片矩阵和晶片的图像;第一机器视觉检测装置,其包括相机和图像处理分析主机,所述相机设于所述显微镜目镜上方,用于获取所述载体上芯片矩阵和晶片的图像,所述图像处理分析主机电连接所述相机,用于对所述载体上芯片矩阵和晶片的图像进行处理并获取所述晶片相对所述芯片矩阵的当前位置;推移装置,其包括推头、第一运动机构以及第一控制系统,所述推头用于推移所述晶片,所述第一运动机构驱动连接所述推头,用于根据第一控制指令将所述推头自所述当前位置移送至设定位置,所述第一控制系统电连接所述图像处理主机和所述第一运动机构,用于根据所述当前位置和所述设定位置向所述第一运动机构发出第一控制指令;其中,所述第一运动机构为三维精密移动平台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山思雷电子科技有限公司,未经昆山思雷电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201711443111.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:晶圆转移装置及晶圆清洗装置
- 下一篇:电池片输送装置及电池片掰片设备
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造