[发明专利]一种固晶辅助设备及固晶机在审

专利信息
申请号: 201711443111.X 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN108155127A 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 张银鸽;王建丁;曹俊星 申请(专利权)人: 昆山思雷电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215332 江苏省苏州市昆*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种固晶辅助设备,包括显微镜装置、第一机器视觉检测装置以及推移装置,推移装置包括推头、第一运动机构以及第一控制系统,推头用于推移晶片,第一运动机构驱动连接推头,用于根据第一控制指令将推头自当前位置移送至设定位置,第一控制系统电连接图像处理主机和第一运动机构,用于根据当前位置和设定位置向第一运动机构发出第一控制指令,第一运动机构为三维精密移动平台。本发明公开的固晶辅助设备及固晶机,在点胶、固晶后,采用三维精密移动平台结合显微镜和机器视觉检查装置,以微米级别精确调整晶片位置,实现固晶精度的提高。
搜索关键词: 运动机构 固晶 推头 辅助设备 三维精密移动平台 控制系统 控制指令 推移装置 固晶机 机器视觉检测装置 机器视觉检查 图像处理主机 显微镜装置 晶片位置 驱动连接 微米级别 电连接 点胶 晶片 显微镜 推移
【主权项】:
一种固晶辅助设备,其特征在于,包括:显微镜装置,其包括工作台A和显微镜,所述工作台A用于放置带有芯片矩阵和晶片的载体,所述显微镜设于所述工作台A上方,用于放大所述载体上芯片矩阵和晶片的图像;第一机器视觉检测装置,其包括相机和图像处理分析主机,所述相机设于所述显微镜目镜上方,用于获取所述载体上芯片矩阵和晶片的图像,所述图像处理分析主机电连接所述相机,用于对所述载体上芯片矩阵和晶片的图像进行处理并获取所述晶片相对所述芯片矩阵的当前位置;推移装置,其包括推头、第一运动机构以及第一控制系统,所述推头用于推移所述晶片,所述第一运动机构驱动连接所述推头,用于根据第一控制指令将所述推头自所述当前位置移送至设定位置,所述第一控制系统电连接所述图像处理主机和所述第一运动机构,用于根据所述当前位置和所述设定位置向所述第一运动机构发出第一控制指令;其中,所述第一运动机构为三维精密移动平台。
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