[发明专利]一种封装薄膜及其制备方法、光电器件

摘要

本发明公开一种封装薄膜及其制备方法、光电器件,其中，所述封装薄膜，包括层叠设置的陶瓷膜和复合薄膜。本发明采用溅射与离子注入相结合的方法，通过注入高能的惰性气体离子可以将溅射在陶瓷膜表面的有机材料和无机材料一同注入到陶瓷膜内部，形成有机无机混合注入层，当注入层足够致密时则形成复合薄膜；由于高能惰性气体离子和有机材料以及无机材料的注入，使得陶瓷膜内部的孔洞减少，并有效增强了陶瓷膜与复合薄膜之间的结合性能，使得封装薄膜的水氧阻隔性能得到明显提升；同时由于高能惰性气体离子和有机材料以及无机材料的注入使得陶瓷膜表面改性，明显增强了封装薄膜的抗弯折性能。

主权项

1.一种封装薄膜，其特征在于，包括层叠设置的陶瓷膜和复合薄膜，所述复合薄膜由无机材料、有机材料和惰性气体离子组成，在所述陶瓷膜和复合薄膜界面处的陶瓷膜表面掺杂有所述无机材料、有机材料和惰性气体离子并形成混合注入层。