[发明专利]喷嘴清洁装置以及喷嘴清洁方法

摘要

本发明提供一种能够更适当地降低在狭缝喷嘴的侧面上残留的附着物的量的喷嘴清洁装置。该喷嘴清洁装置具有接触构件、清洗液贮存槽和喷嘴升降单元。接触构件与喷嘴的外表面的下部区域接触，并沿该外表面一边在水平方向上移动一边刮除在下部区域上附着的附着物。清洗液贮存槽的上部开口，贮存作为贮存清洗液的清洗液。喷嘴升降单元，使移动到清洗液贮存槽的上方的喷嘴在下位置(P11)和上位置(P21)之间往复移动。下位置(P11)是下部区域的上方的上部区域与贮存清洗液进行液体接触的位置，上位置(P22)是下位置(P11)的上方的位置。

主权项

1.一种喷嘴清洁装置，其是喷嘴的清洁装置，所述喷嘴在下端部形成有沿水平方向延伸的狭缝状的喷出口，该喷出口用于向基板上喷出处理液，其中，具有：接触构件，一边与所述喷嘴的外表面的下部区域接触，一边沿所述外表面在水平方向上移动并刮除在所述外表面的所述下部区域上附着的附着物；清洗液贮存槽，上部开口，贮存作为贮存清洗液的清洗液；喷嘴升降单元，使移动到所述清洗液贮存槽的上方的所述喷嘴在下位置与上位置之间往复移动；控制单元，进行所述喷嘴升降单元的移动控制，所述下位置是所述外表面的比所述接触构件接触的所述下部区域更靠上方的上部区域与所述贮存清洗液进行接触的位置，所述上位置是比所述下位置更靠上方的位置。